CVD气相沉积包覆成套设备

硅碳负极流化床
特点描述 :
硅碳负极流化床是一种用CVD气相沉积和包覆硅碳负极材料的生产装置。利用载气通过气体分布器将多孔碳粉体在反应容器内流化,再将含硅气体原料经过流量配比,混合后进入反应容器;在高温下含硅气体原料裂解为硅和氢,硅原子沉积在多孔碳孔道内形成为纳米硅。沉积完成后,再次升温通入乙炔进行高温裂解,完成碳包覆处理。
硅碳负极流化床是一种用CVD气相沉积和包覆硅碳负极材料的生产装置。利用载气通过气体分布器将多孔碳粉体在反应容器内流化,
再将含硅气体原料经过流量配比,混合后进入反应容器;在高温下含硅气体原料裂解为硅和氢,
硅原子沉积在多孔碳孔道内形成为纳米硅。沉积完成后,再次升温通入乙炔进行高温裂解,完成碳包覆处理。