P

产品中心

RPDUCTS
布料系统 CVD气相沉积包覆成套设备 智能储砖系统 自动喷釉系统 人造石英石配料系统 透水砖整线系统 连续干法混色混料系统 其他
联系我们
地址:佛山市南海区西樵镇科创路13号智汇电子制造中心4-5栋
电话:0757-86897988
传真:0757-86881396
 
CVD气相沉积包覆成套设备
您当前的位置: 首页  >  产品中心  >   CVD气相沉积包覆成套设备
硅碳负极流化床
特点描述 : 硅碳负极流化床是一种用CVD气相沉积和包覆硅碳负极材料的生产装置。利用载气通过气体分布器将多孔碳粉体在反应容器内流化,再将含硅气体原料经过流量配比,混合后进入反应容器;在高温下含硅气体原料裂解为硅和氢,硅原子沉积在多孔碳孔道内形成为纳米硅。沉积完成后,再次升温通入乙炔进行高温裂解,完成碳包覆处理。
0
 

硅碳负极流化床是一种用CVD气相沉积和包覆硅碳负极材料的生产装置。利用载气通过气体分布器将多孔碳粉体在反应容器内流化,

再将含硅气体原料经过流量配比,混合后进入反应容器;在高温下含硅气体原料裂解为硅和氢,

硅原子沉积在多孔碳孔道内形成为纳米硅。沉积完成后,再次升温通入乙炔进行高温裂解,完成碳包覆处理。